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半導(dǎo)體愛德華干式真空泵維修IH80/IH160:Edwards高級(jí)半導(dǎo)體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場應(yīng)用證明,可以按照工作標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)行。通過延長使用壽命、提高運(yùn)行時(shí)間并提高生產(chǎn)率,同時(shí)減小占地面積、降低運(yùn)行成本,實(shí)現(xiàn)了高的可靠性和性能。
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更新時(shí)間:2024-10-29
產(chǎn)品產(chǎn)地:上海
在線留言品牌 | Edwards/英國愛德華 | 輸送介質(zhì) | 其他 |
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泵軸位置 | 邊立式 | 葉輪數(shù)目 | 其他 |
應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子 |
半導(dǎo)體愛德華干式真空泵維修IH80/IH160
Edwards高級(jí)半導(dǎo)體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場應(yīng)用證明,可以按照高工作標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)行。通過延長使用壽
命、提高運(yùn)行時(shí)間并提高生產(chǎn)率,同時(shí)減小占地面積、降低運(yùn)行成本,實(shí)現(xiàn)了可靠性和性能。
iH 系列為難以執(zhí)行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供
了高可靠性。
功能和優(yōu)勢(shì):
優(yōu)化了設(shè)施消耗。
無需預(yù)防性維護(hù)。
懸臂軸和特殊的異型轉(zhuǎn)子便于顆粒的處理。
在節(jié)省電機(jī)功率的同時(shí)提高了工作繁重的 CVD 應(yīng)用條件下的穩(wěn)定性。
耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。
較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證。
整體式軸桿無需使用電機(jī)聯(lián)結(jié)器,而第五級(jí)泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積,從而降
低了總體占地面積。
技術(shù)參數(shù):
極限真空1 x 10-2 mbar / 7.5 x 10-3 Torr / 1 Pa
進(jìn)氣口連接:ISO63
出口連接:NW40
重量:244 kg
極限功率輸入:3.1 kW
電機(jī)額定功率:5.0 kW
1、確認(rèn)問題(如有需要,會(huì)在24小時(shí)內(nèi)派出專業(yè)技術(shù)人員趕赴現(xiàn)場確認(rèn)真空泵故障)
2、故障原因(比其爾確認(rèn)故障原因后,擬定出具體維修方案與周期、甲乙兩方簽定協(xié)議后,甲方
安排人員上門提泵,針對(duì)珠三角地區(qū)客戶)
3、真空泵拆開報(bào)價(jià)(為了讓客戶更清晰的知道維修費(fèi)用,比其爾會(huì)給出詳細(xì)的維修清單及費(fèi)用)
4、確認(rèn)維修(客戶同意維修費(fèi)用后開始維修,維修配件為原裝正品,維修后所換配件全部還客
戶)
5、試機(jī)確認(rèn)(確保維修過后達(dá)到的真空度和穩(wěn)定性能,真空度達(dá)到出廠標(biāo)準(zhǔn))
6、送泵安裝(在試機(jī)OK后24小時(shí)內(nèi),客戶可當(dāng)初驗(yàn)收真空泵,看試機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)效果)
7、定期回訪(比其爾承諾,維修保修服務(wù);統(tǒng)一質(zhì)保修6個(gè)月)
半導(dǎo)體愛德華干式真空泵維修IH80/IH160